Книга: Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 1
3130
0
Рейтинг: 9 из 10 (голосов:2)
Скачать книгу Оставить отзыв
Книга: Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 1

Рубрика: Аппаратура, Учеба, наука

Название: Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 1
Автор: : К.Пирс, А.Адамс, Л.Кац, Дж.Цай, Т.Сейдел, Д.Макгиллис. Под редакцией С.Зи.
Издательство: М: Мир: Редакция литературы по новой технике
Год: 1986
Страниц: 404 с., ил.
Формат: djvu
Размер: 4.6 MB
Язык: Перевод с английского.

В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

Похожие книги и литература

Загрузка. Пожалуйста, подождите...